高分子材料热性能测试，铜的xps分析

XPS谱图的解释步骤：

在XPS谱图中首先鉴别出C1s、O1s、C(KLL) 和O(KLL)的谱峰（通常比较明显）。

鉴别各种伴线所引起的伴峰。

先确定强或较强的光电子峰（或俄歇电子峰），

再鉴定弱的谱线。辨认p、d、f自旋双重线，核对所得结论。

XPS分峰

计算表面元素含量

用所有分峰面积加和做总面积，除以灵敏度因子，如一个元素如 Si 2p 有两个峰，把每一个人的峰面积相加，然后除以灵敏度因子。

计算元素相对含量

XPS和EDX的区别XPS 不光可以分析出何种元素，什么含量，还可以知道该元素是何种价态，比如金属表面，可以知道它是否被氧化，生成物是什么；而EDX只能知道何种元素，各元素含量。

XPS 一般采样深度为几个纳米，如果用角分辨XPS可以到十几个纳米，用深度剖析可以达到几百个纳米；一般EDX打入的深度只有零点几到几个微米。