芯片老化检验,零部件清洁度测试
芯片测试分为如下几类:
1. WAT:Wafer AcceptanceTest,wafer level 的管芯或结构测试;
2. CP:chip probing,wafer level 的电路测试含功能;
3. FT:Final Test,device level 的电路测试含功能。
CP测试
CP是wafer level的chip probing,是整个wafer工艺,包括backgrinding和backmetal(if need),对一些基本器件参数的测试,如vt(阈值电压),Rdson(导通电阻),BVdss(源漏击穿电压),Igss(栅源漏电流),Idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高;
CP 测试对Memory来说还有一个非常重要的作用,那就是通过MRA计算出chip level 的Repair address,通过Laser Repair将CP测试中的Repairable die 修补回来,这样保证了yield和reliability两方面的提升。
CP是对wafer进行测试,能把坏的Die挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道Wafer 的良率。CP测试可检查fab厂制造的工艺水平。
现在对于一般的wafer工艺,很多公司多把CP给省了;减少成本。
FT测试
FT是packaged chip level的Final Test,主要是对于这个(CPpassed)IC或Device芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;FT是把坏的chip挑出来;检验封装的良率。通过FT可检验封装厂制造的工艺水平。
而FT则对封装好的Chip来测试。CP Pass 才会去封装。然后FT,确保封装后也Pass。
WAT
WAT是Wafer AcceptanceTest,对专门的测试图形(test key)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定;
对于测试项来说,有些测试项在CP时会进行测试,在FT时就不用再次进行测试了,节省了FT测试时间;但是有些测试项必须在FT时才进行测试(不同的设计公司会有不同的要求)
一般来说,CP测试的项目比较多,比较全;FT测的项目比较少,但都是关键项目,条件严格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封装yield高的话,CP就失去意义了)。
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