检测介电强度，薄膜残余应力测试

各种设备(理论)测定结果存在一致性问题。在实验室能力验证活动中，由于缺少相关quanwei认证机构认可的标准样品，理论实验方案尤其是三维残余应力测定的验证工作开展缓慢，实验室认可活动也存在较大困难。

(3)不同设备的适用范围差异巨大，有些是原子体积量级，有些是立方毫米量级，有些是立方米量级，测试结果之间不具有可比性。

(4)缺少政府认可的检定校准机构，试验室无法有效实施认证认可。

(5)标准样品尚没有公认的严格意义上的标准物质，试验室间缺少比对数据，只能进行试验室间数值比对。

由于当前我国残余应力检测方面缺乏足够丰富的行业标准，因此在寻求检定校准机构的时候，更需要多方参考。