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晶圆失效分析,铝镁合金盐雾试验

晶圆失效分析,铝镁合金盐雾试验

漏电和短路的可能失效机理:
静电放电(ESD)损伤、颗粒引发短路、介质击穿、pn结微等离子击穿、Si-Al互熔。

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颗粒引发短路
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PN结微等离子击穿
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封装内水汽凝结
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