多晶硅检测标准，涂膜硬度铅笔测定法

多晶硅检测标准，涂膜硬度铅笔测定法

12组测试夹具，夹具编号从0---11。
2) 每组18个样品，其中2w/m*k的样品9个，4w/m*k的样品9个。
3) 测试时间从1min---8h，共计12个时间梯度。
2、第二个温度点245℃
1) 12组测试夹具，夹具编号从0---11。
2) 每组18个样品。其中2w/m*k的样品9个，4w/m*k的样品9个。
3) 测试时间从2min---33h，共计12个时间梯度。
3、第三个温度点272℃
1) 12组测试夹具，夹具编号从0---11。
2) 每组18个样品。其中2w/m*k的样品9个，4w/m*k的样品9个。
3) 测试时间从3min---129h，共计12个时间梯度。
4、第四个温度点298℃
1) 12组测试夹具，夹具编号从0---11。
2) 每组18个样品。其中2w/m*k的样品9个，4w/m*k的样品9个。