薄膜介质损耗测试，锂电池内阻测试

根据ψ平面与测角仪2θ扫描平面的几何关系，分为同倾法与侧倾法两种测试方式，检测工件表面应力。

2.4 中子衍射法

中子衍射方法和 x射线衍射法原理类似，而中子穿透深度较大，因此可以探测大块材料内部 (厘米量级 )的残余应力分布。

中子衍射峰位的jingque性受衍射强度的影响，在反应堆功率、衍射晶面和规范体积等一定的条件下，衍射强度主要取决于测试时间。

中子衍射测量残余应力耗时且费用昂贵，通常需要样品的标准体积较大(10mm3)，且空间分辨率较差，对材料表层残余应力的测量无能为力 (>100um及以上区域 )。

3 结论

在各工业领域，残余应力测试技术和应用研究受到高度重视，目前测试方法还较少，且各测试方法均有一定的局限性。目前，应用较多为盲孔法和X射线衍射法。