耐热性测试，表面电阻的测试方法

耐热性测试，表面电阻的测试方法

为了补偿热电动势的影响，在正向测试电流之下得到一个电压读数，再在负向测试电流之下得到另一个电压读数。将这两个电压读数的值进行平均，并将其用在公式的VI中。大多数材料都具有很大的温度系数，所以一定要将样品保持在已知的温度之下进行测试。

2、使用四探针法

四探针法用在非常薄的样品，例如晶圆片和导电涂层上。图2是四点铜线探针用于电阻率测量的配置图。电流从两个外部的探针加入，而电压降则在两个内部的探针之间测量。表面电阻率的计算公式为：

其中：σ=以欧姆/□ 为单位的表面电阻率，V=电压表测得的电压，I=电流源电流。