涂层绝缘电阻测试，高温力学性能检验

G1：从大气压到  10-9 托全程测量计

TP: 涡轮分子泵

RP: 旋转式滑片泵

V1: 涡轮分子泵与腔体之间的的通气阀

V2: 旋转式滑片泵的通气阀

激光测振仪：

全新的德国Polytec公司多功能一体化OFV-505/5000  紧凑式激光测振仪是一款xingjiabigao、使用灵活的高精度振动测量仪。系统具有极高的光学灵敏度，除常规物体的动态特性测量外，还可通过配备显微镜进行微型物体的振动测量，是从微小元器件到大型设备的理想振动测量工具。

OFV-505/5000zhuoyue性能：

· 光学头紧凑，坚固耐用，工业防护等级IP64，防尘防油污，适用于工业生产环境