半导体热阻测试，高低温冲击试验方法

半导体热阻测试，高低温冲击试验方法

电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此，目前检测半导体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是较常用的方法。

四探针测试原理

四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。后，电阻率通过样品的几何参数，输出电流源和测到的电压值来计算得出。

国产S型数字源表能四线法测电阻吗？对线缆要求？

①可以的，使用其四线测量模式；

②四探针测试时一般是恒流测电压，而所加的电流一般在mA级，所以对线缆基本没有要求

需要测试的参数：

表面电阻率

需要仪器列表：

S型国产源表

探针台或夹具

可编程温箱