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高分子助剂化验,扫描电镜多少钱一次

更新时间
2024-05-17 11:00:00
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高分子助剂化验,扫描电镜多少钱一次

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜1。SEM的成像原理和光学显微镜、透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样表面,通过电子与试样表面相互作用产生的二次电子、背散射电子等加以收集和处理从而获得微观形貌放大像4。

扫描电子显微镜一般包括电子枪、电磁透镜、扫描系统、信号采集和处理装置2。其主要作用是用于观察物质表面形貌,不仅可用于生命科学、材料科学、化学、物理学、电子学、地质学、食品科学等领域的研究;而且还广泛应用于半导体工业、陶瓷工业、化学工业等生产部门2。

目前,使用广的常规钨丝阴极扫描电子显微镜其分辨率大可达3~5nm,加速电压为0.2~30kV5。

发展简史

1924年,法国科学家DeBroglie证明任何粒子在高速运动时都会发射一定波长的电磁辐射,期辐射波长与粒子质量和运动速度成反比。这种随加速电压改变的电子波长叫德布罗利波,1926年德国科学家Garbor和Busch发现铁壳封闭的铜线圈对电子流能折射聚焦,这可以作为电子束透镜。这两项重要发现为电子显微镜的研制提供了理论基础6。

1932年德国科学家Ruska和Knoll制造出台投射电子显微镜(TEM),分辨率很低,但证实了上述理论的试用价值7。

1933年研制出分辨率50nm,放大倍数1.2万倍的电子显微镜;1938年研制出分辨率10nm,放大倍数20万倍的电镜7。

1938年,德国冯▪阿登纳制成台采用缩小透镜用于透射样品的SEM,但不能获得高分辨率样品表面电子像7。

1941年,日本研制出分辨率为3nm的TEM;1944年荷兰Philips公司研制台电镜;1946年,美国开始生产电镜;1952年,英国工程师Charles0atley制造出了台扫描电子显微镜(SEM)4。1958年中国科学院光学精密机械研究所生产了台中型电镜,1977年生产出分辨率为0.3nm,方法倍率为80万倍的TEM6。


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