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dsc测量比热容，绝缘电阻测试方法
发布时间： 2024-08-09 08:07 更新时间： 2024-11-23 11:00
dsc测量比热容，绝缘电阻测试方法
整张晶圆产品上的芯片，每一个格子代表一颗芯片，WAT测试结构在一般在PAD与PAD之间，很多不同的测试结构组成一组测试模组，foundry会给每组测试模组定义一个名称，每一片晶圆会包含很多这样的不同的WAT测试模组。
图1、WAT晶圆测试
其中，电阻部分有个测试结构是：
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