绝缘电阻测试试验，磁铁磁力检测

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战

电子薄膜种类多，电阻率特性不同

需要选择适合的SMU进行测试

被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数

厚度修正系数对测试结果的影响F(W/S)

圆片直径修正系数对测试结果的影响

温度修正系数对测试结果的影响

环境对测试结果有影响

利用电流换向测试消除热电势误差

利用多次平均提高测试精度

需要考虑测试成本

泰克吉时利电子薄膜材料测试方案

1.通用配置

a.2450/2460/2461

b.四探针台（间距1mm）