材料老化测试，扫描电镜eds分析

析材料元素种类与含量的仪器

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

目录

1原理2性能指标3测试原理

4使用范围5类型

原理

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各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

性能指标

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固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好

检出角：理论上该角度越大越好

探头：新型硅漂移探测器（SDD）逐步取代锂硅Si(Li)探测器

能量分辨力：目前别的能谱仪分辨力可达121eV

探测元素范围：Be4～U92

测试原理

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当X射线光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。