化工物质成分分析,塑料红外光谱分析
X射线荧光光谱仪(XRF)
参见体相成分分析X射线荧光光谱仪(XRF)
09
俄歇电子能谱仪(AES)
俄歇电子能谱仪(AES)
图15 俄歇电子能谱仪
原理:具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应,通过检测俄歇电子的能量和强度,从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。
图16 俄歇电子能谱仪结构
适合分析材料:金属、高分子等材料,薄膜,涂层等
应用领域:半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等。
特点:在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高,很高的空间分辨率,小可达到6nm;能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布;通过成分变化测量超薄膜厚。