透光率和雾度测定，x射线无损探伤

扫描隧道显微镜和原子力显微镜(AFM)为人们熟悉和掌握。扫描探针显微测量方法是扫描测量，终给出的是整个被测区域上的表面形貌。SPM测量精度高，纵向及横向分辨率达原子量级，但是其测量范围较窄，同时操作较复杂。因此SPM常适合于测量结构单元在nm量级、测量区域为m量级的微结构。

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜(SEM)利用聚焦得非常细的电子束作为电子探针。当探针扫描被测表面时，二次电子从被测表面激发出来，二次电子的强度与被测表面形貌有关，因此利用探测器测出二次电子的强度，便可处理出被测表面的几何形貌。SEM既可以用于m量级结构的测量，也可用于nm量级结构的测量。它比较适合于定性测量，不能jingque测定微观结构在纵向的尺寸。此外，它的电子束还会使某些对电子束敏感的样品产生辐射损伤。