塑料电阻测试，高温力学性能检测

泵 数 量：采用两级抽真空泵形式（Edwards RV12两级旋转叶片泵和Edwards

nNXT 400D涡轮分子泵），保证系统真空度能优于10-2帕。前 级 泵：Edwards RV12两级旋转叶片泵

抽气速度：12.0立方米/小时 @50 Hz

14.2立方米/小时 @60 Hz

极限压强：～10 托

主      泵：Edwards nNXT 400D涡轮分子泵抽气速度：大于400升/秒

极限压强：～10-8托

法兰方向：侧面CF定位法兰，避免了高温样品脱落的尘埃堆积在泵表面，影响泵的  使用寿命。

压强测试：全系列真空计：大气～10-8托（控制和显示） 气体排出：一个干燥的氮气端口

控制方式：泵、通风和温度通过友好的计算机用户界面来控制和监控。

密封垫片：Del-sealTM品牌金属密封垫片。能耐高温450℃，压强10-13托，能充分保证腔体良好的真空度。