dsc测量比热容，绝缘电阻测试方法

整张晶圆产品上的芯片，每一个格子代表一颗芯片，WAT测试结构在一般在PAD与PAD之间，很多不同的测试结构组成一组测试模组，foundry会给每组测试模组定义一个名称，每一片晶圆会包含很多这样的不同的WAT测试模组。

图1、WAT晶圆测试

其中，电阻部分有个测试结构是：