晶体缺陷的检测，xps的定量分析

过渡金属氧簇合物的测试也适用Ar单原子吗？
答：离子源（氩离子源）溅射都有择优溅射的问题，金属氧化物中往往氧容易被优先溅射去除，数据呈现金属精细谱结合能就会往低能位移（像是被还原），所以要根据分析材料成分选择合适的离子源和溅射条件。
 

6.全谱里面尖的地方都是扫出来的元素吗？
答：全谱里有峰尖的地方代表各种谱峰信息（光电子谱峰、俄歇谱峰、卫星峰等），要结合软件和数据库对谱峰的位置进行成分判定，全谱主要判断元素信息。
 

7.想知道数据处理部分参数怎么设置的问题？
答：请仔细看视频内容（科学指南针后台回复XPS1024、XPS1025），数据处理的原则在里面都有详述，包括资料查询、谱峰背底扣除、峰面积比设定、能量差设定、半峰宽设定等等。
 

8.XPS可以证明配位键？
答：还是要看具体的化合物，比较复杂的要结合其他技术手段，比如TOF-SIMS等，可以通过谱峰结合能信息，半定量结果去判断一些基本的价态和化学键信息。
 

9.怎么分析Ag3d的峰？
答：Ag的不同化学态结合能差别很小，有时候要结合俄歇谱峰还有其他元素的分析结果一起判断化学态。
 

10.分峰和文献相差多少可以算正常？以及偏移多少可以证明异质结构？
答：同种化学态的结合能不是一个数值，而是能量范围，所以与查询标准能量差正负0.5之内都是合理范围。当然同时要结合其他元素的谱峰和结合能一起判定。
 

11.空间分辨率啥意义？
答：就是入射源的小束斑，可以分辨的小形貌特征尺度。