机油检测中心，扫描电镜分析方法

等离子体和进样系统、分光系统、检测系统和计算机系统五部分组成。

1）R.F高频发生器：R.F发生器通过工作线圈给等离子体输送能量，维持ICP光源稳定放电，要求输出功率稳定性好、点火容易、发热量小、火焰稳定、有效转换功率高、能对不同样品及不同浓度变化时抗干扰能力强。目前的R.F发生器主要有两种震荡类型，即自激式和它激式。 

利用光谱仪器将光源发射的光分解为按波长排列的光谱。

3）利用光电器件检测光谱，按测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。

仪器结构

ICP-OES设备主要由R.F高频发生器、