光学测试，sem测量

ICP根据检测器的不同分为ICP-OES(电感耦合等离子发射光谱仪，古代人也称ICP-AES)和ICP-MS(电感耦合等离子质谱仪)。两者能测元素周期表中的绝大部分元素，两者之间能测得元素稍有差异，检出能力上后者要比前者高，当然价格上也贵很多，不过一般来说ICP-OES也就够用了。
ICP测试一般要对固体样品进行酸消解处理转化为液体，液体样品可以酸化后进样。
ICP是一种大型的检测仪器，把它归为科研仪器有这么一点牵强，很多机构都会有，一般城市的检验检疫局，卫生局，环保局等部门的下属实验室很可能会有，院校及科研单位也可能会有，大型制造企业的实验室也可能会有。