热变形测试，表面电阻测试方法

表面电阻率的单位表达为欧姆，以区别于测量出的电阻(V/I)。对于极薄或极厚的样品，可能需要使用修正因数对电阻率的计算进行修正。

3、van der Pauw范德堡测量法

虽然范德堡van der Pauw电阻率测量法主要用于半导体工业，但是也可用于其它一些应用工作，例如：用来确定超导体或其它薄片材料的电阻率。van der Pauw法用于扁平、厚度均匀、任意形状，而不含有任何隔离孔的样品材料。如图3所示，接触点应当很小，并且安放在样品的外围。

围绕样品进行8次测量。对这些读数进行数学组合来决定样品的平均电阻率。有关van der Pauw法的更进一步的信息可以在ASTM标准F76中找到。