AES

适合分析无机材料，元素的定性半定量分析以及部分化学态分析，可以进行

深度剖析。

分析固体材料表面纳米深度的元素（部分化学态）组成，可以对纳米级形貌

进行观察和成分表征。既可以分析原材料（粉末颗粒，片材等）均匀表面组

成，又可以分析材料特定微区结构或特定产品表面缺陷如污染，腐蚀，掺杂，

吸附、晶界杂质偏析等，还具备深度剖析功能表征钝化层，掺杂深度，纳米

级多层膜层结构等。

1.空间分辨率：8nm

2.采集深度：0.5-7.5nm

3.成分检出限：0.1atom%

4.采集信息：元素 Li-U，部分化学态

GD-MS

进行高纯材料（金属，合金，石墨，电子材料，氧化物和陶瓷等）的全元素

含量测试。

1.一次性提供从 Li-U（C，N，O，H 除外）

的所有元素含量

2.检测限：ppb~ppm 级