ICP MS

固体，液体，表面污染物，可浸出物和可萃取物的痕量和超痕量元素分析。

1.检测限 ppb-ppm

XRD

物相分析；晶粒尺寸；小角散射；晶格常数测定；结晶度测定；残余应力测

定；薄膜厚度测量；摇摆曲线测量。

1.采集深度：1-3µm

2.无法识别非晶材料

3.检测限：1atom%

TGA

常用于测定物质在熔融，相变，分解，化合，凝固，脱水，蒸发，升华等特

定温度下发生的热量和质量变化，广泛应用于无机，有机，材料等领域。

EDS

适合分析无机材料，元素的定性半定量分析。

1.空间分辨率：0.1µm

2.采集深度：1-3µm

3.成分检出限：0.1atom%

4.采集信息：元素 B-U