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浙江高分子材料检测,电镜扫描费用

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电子光学系统

电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。

电子枪:用于产生电子,主要分类如下:

种类

原理

优点

缺点

场致发射电子枪

利用场致发射效应产生电子

具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统

在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空

钨枪

利用热发射效应产生电子

价格便宜

寿命在30~100小时之间,成象不如其他两种明亮

六硼化镧/六硼化铈枪

寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间为200~1500小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上

电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。

样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。

2、信号探测处理和显示系统

电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。

有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。


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