电子元器件失效分析机构,铜加速盐雾测试标准
电子元器件失效分析机构,铜加速盐雾测试标准
失效模式
开路,短路,漏电,功能失效,电参数漂移,非稳定失效等
常用手段
电测:连接性测试 电参数测试 功能测试
无损检测:
开封技术(机械开封、化学开封、激光开封)
去钝化层技术(化学腐蚀去钝化层、等离子腐蚀去钝化层、机械研磨去钝化层)
微区分析技术(FIB、CP)
制样技术:
开封技术(机械开封、化学开封、激光开封)
去钝化层技术(化学腐蚀去钝化层、等离子腐蚀去钝化层、机械研磨去钝化层)
微区分析技术(FIB、CP)
显微形貌分析:
光学显微分析技术
扫描电子显微镜二次电子像技术
表面元素分析:
扫描电镜及能谱分析(SEM/EDS)
俄歇电子能谱分析(AES)
X射线光电子能谱分析(XPS)
二次离子质谱分析(SIMS)
无损分析技术:
X射线透视技术
三维透视技术
反射式扫描声学显微技术(C-SAM)
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