材料失效和断裂分析，高周疲劳测试费用

图6为ChemiSEM图像，显示的是该区域所含元素的面分布情况，Fe为基体元素，O显示样品被氧化的区域，Cl则是异常元素，需要进一步的研究。Axia ChemiSEM可隐藏部分元素仅显示感兴趣元素，为了即刻确认Cl的分布情况，在本示例中我们只显示Cl元素的面分布情况。

*图7 Cl元素的ChemiSEM面分布图

（加速电压15 keV 束流0.44 nA 采集时间60 s）

*图8 ChemiSEM图像显示了选区分析的两个区域