金属膨胀系数的测量，ac耐压测试标准

样品薄层厚度:RF模式：

树脂30nm~2μm

陶瓷300nm~5μm

金属1μm~20μm FF模式:

≥1μm;

重复性:±5%

PicoTR

测量范围:0.01~1000mm2/S;

样品宽度:10~20mm2;

样品厚度:≤1mm