固体熔点测定,橡胶试片体积电阻测试
发布时间:2024-11-23
固体熔点测定,橡胶试片体积电阻测试
半导体制造中的薄膜都具有电阻,薄膜电阻对器件的性能有着直接的影响。我们通常不去测量薄膜的juedui电阻,而是用方块电阻来表征。
什么是方块电阻与体电阻率?
体电阻率,也称为体积电阻率,是一个材料固有的性质,表征了该材料对电流流动的阻碍程度。常用符号ρ 表示,单位为Ω。在初中物理中已接触过。
方块电阻,又名方阻,英文名称sheet resistance,指的是单位面积的薄膜的电阻值。常用符号Rs 或ρs来表示,单位为Ω/sq或Ω/□
二者的关系是:方阻=体电阻率/薄膜厚度 ,即Rs =ρ/t
为什么要测方块电阻?
测量薄膜的juedui电阻需要jingque知道薄膜的几何尺寸(长度、宽度、厚度),变量很多,对于非常薄或不规则形状的薄膜,十分复杂。而方阻仅与薄膜的厚度有关,可以快速地被直接测试出来,无需复杂的尺寸计算。
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