eps表面电阻测试，磁力测量

6514型和6517B型静电计的特色在于通过前面板轻松地进行类似DMM的操作，单个按钮即可控制重要功能，例如电阻测量。它们也可以通过一个内置的IEEE-488接口控制，这使得人们可以借助一个计算机控制器通过总线对所有功能进行编程控制。

然而，不同于数字万用表的是，静电计拥有较低的偏置电流和输入负担。6514型或6517B型的的输入偏置电流均< 3 fA。通常情况下，数字万用表的偏置电流是几十或几百皮安。相比之下，这严重限制了它们的微弱电流测量能力。

扫描卡（ 6517B ）

可以提供两种扫描卡，用于简化多路信号的扫描,例如电容器或其他电路生产中的测试。每一个扫描卡都可以很轻松地地插入仪器背面面板的备选插槽。6521型扫描卡可提供10通道的微弱电流扫描。6522型扫描卡提供了具有高阻抗电压开关或微弱电流开关能力的10条通道。

交变极性法测电阻/电阻率 (6517B)
6517B型采用交变极性法测量阻抗/电阻率，这几乎消除了样品中的任何背景电流的影响。背景电流的一阶和二阶漂移也被对消了。交替改变所施加的电压的极性，通常实现一个高度可重复的、jingque的电阻（或电阻率）测量。