金属电阻系数检测，涂层残余应力检测

一般导电薄膜，半导体薄膜需要测方阻，而绝缘薄膜则不需要测。

在半导体掺杂中，也会测硅的方阻。

KLA方阻测量仪

测量方块电阻的方法？

业内一般采用四探针法。四探针法可测量方阻电阻范围从1E-3到1E+9Ω/sq之间的方阻。四探针法可以避免由于探头和样品之间的接触电阻而产生的测量误差。

测量方法：

1) 将四个线性排列的探头设置在试样表面。

2) 在两个外探针之间施加恒定电流。

3) 通过测量两个内部探针之间的电位差来确定电阻