材料老化测试标准，成分化验检测

EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。如图1所示是能谱点扫给出的峰型图，每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时，也会相对应的给出如表1所示的元素相对含量表，表中数据展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

图2对样品进行线扫的结果图

EDS 线扫描分析是电子束沿一条线对样品进行扫描，能得到元素含量变化的线分布曲线。结合样品形貌像对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况。图2可以看出，元素含量的差异与形貌结合可以分析样品结构上的差异。

图3对样品进行面扫的结果图

EDS 面扫描分析是电子束在样品表面扫描，试样表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表现出来，常用来做定性分析。亮度越高，元素含量越高，结合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。从图1-11中可以看出元素分布的差异，结合形貌图对样品进行定性分析。