化工物质成分分析，塑料红外光谱分析

X射线荧光光谱仪（XRF）

参见体相成分分析X射线荧光光谱仪（XRF）

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俄歇电子能谱仪（AES）

俄歇电子能谱仪（AES）

图15 俄歇电子能谱仪

原理：具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。

图16 俄歇电子能谱仪结构

适合分析材料:金属、高分子等材料，薄膜，涂层等

应用领域：半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等。

特点：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高，很高的空间分辨率，小可达到6nm；能探测周期表上He以后的所有元素及元素分布；通过成分变化测量超薄膜厚。